12月1日， MEMS智能傳感器技術分會場活動在鄭州國際會展中心成功召開。本次論壇邀請了MEMS與智能傳感器的專家學者，圍繞智能傳感器行業發展存在的突出問題及薄弱環節，以及我國MEMS與智能傳感器技術的核心競爭力進行了深度探討。中國工程院院士、陜西省科協主席、西安交通大學蔣莊德教授親臨大會并為本分會場專題報告致辭。

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本次會議由鄭州市人民政府、中國儀器儀表學會主辦，中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會、中國儀器儀表學會傳感器分會、河南工業大學、漢威科技集團股份有限公司承辦。

河南省儀器儀表學會執行秘書長、河南工業大學徐振方教授主持

中國工程院院士、陜西省科協主席、西安交通大學蔣莊德教授致辭

紹興文理學院王躍林教授作《MEMS創新與產業化》主題報告。他提到，MEMS特別適合創新，它的特點一是以應用為導向，二是蘊含大量的創新機會。技術源自產業化，生態在產業化中尤為重要。要把壓力傳感器做到性價比高、成本低、性能好，比如電子管芯片化，就要顛覆其傳統的制造方法，采用平面工藝制造，可以大幅度管電路的性能。報告中從微電子的角度對MEMS工藝進行介紹，強調了創新和構建產業生態的重要性。

中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會副主任委員、西北工業大學苑偉政教授作《極端環境智能微系統發展》主題報告。他提到，MEMS與智能微系統是從微機械開始的，只有到了批量化制造的時候，才真正具有產業化的生命力。在極端環境下（如高超聲速飛行器和航空發動機等）的感知與控制，面臨的問題包括“卡、禁、無”，因此對高端芯片的需求十分迫切。報告中探討了MEMS與智能微系統的演變過程，提出幾種MEMS原理。結合國家在航空航天、深海深地等極端環境下的應用需求，介紹了西北工業大學的研究工作，提出了相關的展望。

中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會常務委員、中國科學院空天信息創新研究院陳健研究員作《單細胞檢測與微傳感器》主題報告。他提到，面向人民生命健康，單細胞檢測為精準醫學提供診斷方法，在全血分析和血癌診斷中發揮核心作用。目前，該領域的技術瓶頸是“無法快速量化檢測單細胞理化特征”，關鍵科學問題是“單細胞理化特征與細胞分類分型的定量關系不明”，嚴重制約腫瘤學、血液學的發展。報告中明晰了基于MEMS“壓縮通道”的理化特征高通量定量原理，揭示了單細胞電學/力學/蛋白表達等理化特征與外周血白細胞分類/急性白血病分型的定量關系。

中國儀器儀表學會傳感器分會主任委員、中國航天科技集團有限公司九院七〇四所副總工程師陳青松研究員作《重復使用火箭的傳感需求》主題報告。報告介紹了當前國內商業航天發展態勢，指出商業航天作為市場發展新引擎、產業轉型加速器、技術創新助推劑的重要意義。現役航天傳感器在火箭飛行模態辨識、氣動熱環境監測、動力系統閉環控制等方面均起到重要作用。重復使用火箭在結構健康診斷和評估、高精度回收定位、低溫儲箱液位測量、隔熱燒蝕材料衰退率檢測等應用場景對傳感器提出了新需求，需要通過應用新技術和新工藝來實現高可靠、低成本、高效率的要求。

河南工業大學李松霖博士（代王莉教授）作《半導體氧化物協同吸附氣敏增強機理及傳感器研究》主題報告。他指出，半導體氣體傳感器主要面臨的是抗干擾能力差和不便攜的問題。在糧用氣體傳感器中，如何構建一個高選擇性的金屬氧化物半導體材料氣敏模型，進行傳感器融合與數據處理，成為面臨的調整。報告中通過對多傳感器融合以及算法的分析，將嗅覺設備應用到糧食和智慧康養方面。表現協同吸附作用對選擇性的提高，突破靈敏度和穩定性、選擇性制約的瓶頸。并對在魚新鮮度、儲量蟲霉、糧食新陳度和呼吸道疾病四個應用領域的檢測進行了驗證。

鄭州煒盛電子科技有限公司副總經理、高級工程師，鄭州煒盛研究院副院長李明輝作了《基于多傳感器融合的智能MEMS傳感器》主題報告。他提到了MEMS氣體傳感器的三項核心技術，介紹了“AI多參數的融合和預測”是目前煒盛在做的主要的工作之一。傳感器發展的目標包括“更小、更多、更強、更新”四個方面，發展現狀正走向“多功能、高密度”。主要更新的是以新理念、新模式的MEMS與現實應用結合后的新發展。報告中通過介紹多傳感器融合的智能MEMS傳感器的背景和目標，分享了煒盛科技在該領域的研發思路、研發方法、取得的研發成果，以及融合后的傳感器應用場景。

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此次會議的成功召開，有利于突破相關產業發展的技術瓶頸和體制約束，有利于提升我國MEMS與智能傳感器產業技術的核心競爭力，還有利于促進企業、高等院校和科研院所在戰略層面有效結合，進而促進學術界與企業界的深度合作，有利于推進基礎研究的成果轉化，建立并完善我國傳感器領域的創新體系。這次會議在積極促進MEMS和納米技術發展中，尤其是以微納器件為代表的新型智能微納器件與系統技術在學科交叉、創新與前沿課題研究、國際交流與產業化等方面的發展具有重要意義和廣闊的應用前景。